电子制造工业中，对烟囱排放的氯化物、氟化物、苯系物等气体监测重要，OPSIS 拥有专为电子厂这种环境而设计的连续排放监测系统。为了在许多应用场所的性和运转性能，OPSIS可以满足电子芯片制造业多样化的需求。采用DOAS (差分吸收光谱法)的Opsis系统是一条开放式光径，无须接触被监测气体的监测系统，就不会受废气排放过程中的气体、高温和微粒的影响。一套系统可以实时在线地监测用户指定的一系列物质， OPSIS系统具有高准确性、高性和很强的数据采集处理能力。OPSIS同样可以满足过程控制对响应速度的要求。
一套OPSIS 系统可以监测多种物质。通常监测的气体，诸如为了合电子厂的某些需求，监测HCL、HF、CL2、苯、、二、……
一套OPSIS 系统可以监测多种物质。通常监测的气体，诸如为了合电子厂的某些需求，监测HCL、HF、CL2、苯、、二、……
应用原理：差分吸收光谱法（DOAS）
系统结构：
技术特点：
- 无需抽取采样，不改变工况条件，在线实时连续测量
- TüV，MCERTS 等国际
- 烟道光路上平均浓度，代表
- 多气体，多光路技术（反应时间快）
- 使用寿命长，维护量小，运营成本低（耗件氙灯）
- 一年要校准 1-2 次
- 技术成熟，应用范围广
